[15p-D305-1~13] 1.6 超音波

△ [15p-D305-3] LiTaO₃・LiNbO₃薄板を用いた同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの解析

〇藤巻 貴海¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：縦型リーキーSAW、同種材料接合構造、タンタル酸リチウム・ニオブ酸リチウム

LTまたはLN薄板を用いた同種材料接合構造上のLLSAWの共振特性について理論的に解析した．LLSAWに対して結合係数が最大のX31°Y-LTまたはX36°Y-LNを薄板とし，YZ-LTまたはYZ-LNを支持基板とした．同種接合することにより，900程度の共振Q_rと反共振Q_aが得られることを明らかにした．LT単体と比較し，LT同種材料接合では主変位の最大振幅が大きく，基板内部への漏洩が抑圧された．