[15p-D411-1~5] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-D411-3] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(3)Precipitate Engineeringについて

〇井上 直久^1,2 (1.東京農工大学工学院、2.大阪府大放射線センタ－)

キーワード：シリコン結晶、点欠陥、析出物

シリコン結晶とトランジスタの歴史を4段階に分けdefect engineeringの最初のprecipitate engineeringの目的・内容と対象欠陥と開発した独自の研究手段を考察した。また先行や踏襲や発展させた関連研究を振り返った。