13:00 〜 14:40 [23p-P10-1] 過渡光容量分光法による (111)ホウ素ドープCVDダイヤモンド薄膜の結晶欠陥評価 〇毎田 修1、児玉 大志1、兼本 大輔1、廣瀬 哲也1 (1.阪大院工)