13:45 〜 14:00 [13p-S201-4] Ga2O3/Siヘテロ構造の作製及び構造評価 〇(M2)高月 大輝1、東脇 正高2、清水 康雄3、大野 裕3、永井 康介3、重川 直輝1、梁 剣波1 (1.大阪市大、2.情報通信研究機構、3.東北大金研)