16:15 〜 16:30 △ [11p-S401-13] Pt結晶膜上のTa2O5圧電薄膜の成膜とSAW伝搬特性の解析 〇松浦 佳祐1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、小寺 正徳2、舟窪 浩2 (1.山梨大、2.東工大)