15:30 〜 15:45 [12p-N323-9] ミニマルファブを用いたピエゾ抵抗型加速度センサの開発(2) 〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)