15:30 〜 15:45
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
小粥 敬成
発表者・著者、共著者
2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)
15:30 〜 15:45
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)