Xuan Luo

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発表者・著者、共著者

2021年9月11日(土) 09:00 〜 12:00 N205 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| CS コードシェアセッション
| 【CS.9】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[11a-N205-1~11] CS.9 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

10:45 〜 11:00

▼ [11a-N205-7] Antiferroelectric properties in ALD ZrO₂ ultra-thin films and their relations with the crystalline phases

〇(DC)Xuan Luo¹、Kasidit Toprasertpong¹、Mitsuru Takenaka¹、Shinichi Takagi¹ (1.Univ. of Tokyo)