16:30 〜 16:45 △ [12p-N301-12] ミストCVD法を用いたrh-ITOエピタキシャル薄膜上へのHfxZr1-xO2薄膜成長 〇島添 和樹1、藤原 悠希1、新田 悠汰1、西中 浩之1、吉本 昌広1、野田 実1 (1.京都工繊大)