11:00 〜 11:15 △ [13a-N203-7] ミストCVD法を用いたYSZ(111)面基板上のIMO薄膜のエピタキシャル成長とその評価 〇(M1)石野 貴之1、島添 和樹1、西中 浩之1、吉本 昌広1 (1.京都工繊大)