15:00 〜 16:40 [23p-P12-2] マグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表面モフォロジーに及ぼす基板極性の影響 〇(M2)成重 椋太1、山下 大輔1、鎌滝 晋礼1、奥村 賢直1、古閑 一憲1、白谷 正治1、板垣 奈穂1 (1.九大シス情)