17:00 〜 17:15 [13p-N105-14] 内部モード結合によって誘発されたGaAsMEMS梁共振器の共振周波数シフト 〇福田 喬治1、張 亜1、諸橋 功2、平川 一彦3,4 (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構)