11:15 〜 11:30 [12a-N102-9] プラズマCVDによるi/n a-Si:H/SiN反射防止パッシベーション膜の特性 〇布村 正太1、坂田 功1、佐藤 愛子1、ロザック ミカエル1、三沢 達也2、板垣 奈穂3、白谷 正治3 (1.産総研、2.佐賀大、3.九大)