15:00 〜 16:40 [23p-P12-5] スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長 〇(M1)木村 日向1、三澤 亮太1、吉田 圭佑1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)