11:30 〜 11:45 [11a-N304-10] 絶縁膜上への多結晶 BaSi2膜の形成と電気特性評価 〇吉田 竜一1、小板橋 嶺太1、山下 雄大1、召田 雅実2、都甲 薫1、末益 崇1 (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)