09:00 〜 10:40 [22a-P04-10] 室温ALDによるシリカ-アルミノシリケート多層膜の試作とイオン吸着性評価 〇齋藤 尊1、齋藤 健太郎1,2、三浦 正範3、鹿又 健作3、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)