16:15 〜 16:30 [13p-S301-12] GCIB援用蒸着法で合成したDLC膜の光学定数とAr/C原子供給比の関係 〇宮本 黎美1、西山 昭雄2、吉川 亮太2、田口 純志2、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技大工、2.野村鍍金)