11:00 〜 12:40 [23a-P10-12] ALD-Al2O3の膜質がAl2O3/AlGaN/GaN MIS構造の電気的特性に及ぼす影響 〇柴田 匠哉1、上沼 睦典1、山田 高寛2、西村 邦彦2、吉嗣 晃治2、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.三菱電機㈱)