17:30 〜 17:45 △ [12p-N101-17] サファイア基板上に形成したAlN上AlGaNのレーザリフトオフ 〇(M2)下川 萌葉1、岩山 章1,2、正直 花奈子2、大森 智也1、山口 顕宏3、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、三宅 秀人2 (1.名城大、2.三重大、3.西進商事)
17:45 〜 18:00 [12p-N101-18] スパッタAlNテンプレート上Al0.6Ga0.4N膜の転位密度の低減とUV-B LDへの応用 〇(M2)下川 萌葉1、大森 智也1、山田 和輝1、岩山 章1,2、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、三宅 秀人2 (1.名城大、2.三重大)