16:00 〜 16:15 [13p-S301-11] アセチレン-N2混合気体のマイクロ波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析 〇(M2)佐藤 悠雅1、伊藤 治彦1 (1.長岡技大工)