15:00 〜 16:40 [23p-P12-8] プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (7) 〇(M1)幅田 雅也1、佐野 準之助1、佐藤 陽平1、村中 司1、鍋谷 暢一1、松本 俊1 (1.山梨大工)