17:00 〜 18:40 [23p-P13-13] AlN/エピタキシャルグラフェン/SiC構造形成におけるAlN膜厚及びステップ高さの影響 〇(M2)山下 雄大1、勝崎 友裕1、水野 裕介1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)