11:00 〜 11:15 [11a-N304-8] Ba ターゲット及び BaSi2ターゲットの同時スパッタによる BaSi2膜の形成 〇木戸 一輝1、小板橋 嶺太1、長谷部 隼1、召田 雅実2、都甲 薫1、末益 崇1 (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)