10:45 〜 11:00 △ [11a-N304-7] RFスパッタ成長時におけるBa/Si堆積比がガラス基板上BaSi2膜に及ぼす影響 〇小板橋 嶺太1、長谷部 隼1、召田 雅美2、都甲 薫1、末益 崇1 (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)