10:00 〜 10:15 △ [10a-S301-5] インピーダンス分光法を用いたプラズマ曝露環境下のプローブ表面状態モニタリング 〇(M1)両角 潤樹1、久山 智弘1,2、鬼頭 聖弥1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)