14:45 〜 15:00 △ [11p-N207-5] Hf0.5Zr0.5O2 FeFETを用いたMOS型光位相シフタの不揮発性動作 〇渡辺 耕坪1、トープラサートポン カシディット1、高木 信一1、竹中 充1 (1.東大院工)