11:15 〜 11:30 [11a-N322-9] ペロブスカイト層への触媒化学気相堆積法でのSiNxガスバリア膜堆積 〇Huynh ThiCam Tu1、嶋﨑 愛2、金子 竜二2、若宮 淳志2、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.京都大)