18:00 〜 18:15 [10p-N104-18] Cat-CVDでSiNxを堆積した結晶Siセル表面でのファイヤースルーによるコンタクト形成 〇板坂 年希1、立花 福久2、Thi Cam Huynh Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.産総研)