Hansin BAE

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発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N102 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:45 〜 17:00

▼ [12p-N102-13] High conductive carbon film deposition by electron cyclotron resonance (ECR) plasma

〇Hansin BAE¹、Hamaguchi Ikumi¹、Kensuke Sasai²、Haruka Suzuki^1,2、Hirotaka Toyoda^1,2,3 (1.Nagoya Univ.、2.Nagoya Univ. cLPS、3.NIFS)