出展者情報

（株）トクヤマ

トクヤマは、2インチのPVT-AlN基板を使用して、低不純物濃度・高紫外線透過性・高熱伝導率のHVPE-AlN自立基板の開発に成功しました。電子デバイス用基板、深紫外線LED・LD等の光デバイス用基板としてお使い頂けます。

【展示物】
単結晶AIN基板