[10a-N104-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

[10a-N104-8] ドープ層の微結晶化による６接合アモルファスSi太陽電池の特性改善

〇野毛 宏¹、浅野 祐希¹、小長井 誠¹、石川 亮佑¹ (1.都市大総研)

キーワード：アモルファスSi太陽電池、6接合太陽電池、微結晶Si

本研究では、IoTデバイス向けの環境電源として、1000 luxの室内光で3.5V以上の電圧を発生できる両面受光型pin多接合アモルファスSi太陽電池を開発している。ドープ層が薄いかドーピング濃度が低い場合、余計な光吸収を抑制できる一方、空乏化によって開放電圧が低下してしまうトレードオフがある。この問題を解決するため、ドープ層の微結晶化を進めている。PE-CVD法により120℃で製膜したn層では、シランの水素希釈比を30から70に上げることで、結晶化が確認され、抵抗率も低下した。