[10a-N106-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[10a-N106-1] 二波長法による幾何学的位相シフト点回折干渉顕微鏡の計測範囲の拡大

〇水谷 彰夫¹、曹 礼禧¹、菊田 久雄¹ (1.阪府大工)

キーワード：共通光路型干渉顕微鏡、幾何学的位相シフト、二波長法

共通光路型の幾何学的位相シフト点回折干渉顕微鏡に二波長法を適用することで，単一波長を超える高さを持つ段差サンプルの計測を可能にし，触針式プロファイラとの比較によると誤差1%以下で正しい高さが求められた．さらに，それぞれの単一波長で求めた位相差から高さを求めなおしているので，二波長法でも一波長法と同程度の20nmの高さ分解能が得られた．