[10a-N106-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[10a-N106-4] Relationship between 2D single-shot OCT accuracy and step length of stepped spatial phase modulator

〇Keishi Chiba¹, Tatsutoshi Shioda¹ (1.Saitama Univ.)

Keywords:Interference measurement

低コヒーレンス干渉断層計測法を応用した二次元シングルショット干渉計測において，位置検出精度を制限する要因である空間位相変調器のステップ長と，結像関係にある SPM とイメージセンサの解像度との関係を，ピクセルサイズを考慮して数値解析，実証実験を行った．その結果，SPM のステップあたりの微小高さよりさらに細かい計測精度が得られることが分かった．