2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[10a-N202-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2021年9月10日(金) 09:30 〜 12:00 N202 (口頭)

澤野 憲太郎(都市大)

11:00 〜 11:15

[10a-N202-7] a-Siキャップ付加による界面変調Sn添加Ge極薄膜/絶縁基板のキャリア移動度向上

原 龍太郎1、千代薗 修典1、茂藤 健太2,3、山本 圭介2、佐道 泰造1 (1.九大・システム情報、2.九大・総理工、3.学振特別研究員)

キーワード:半導体

本研究ではSn添加Ge極薄膜の固相成長に与えるa-Siキャップ効果を検討した。