PDF ダウンロード スケジュール 15 いいね! 1 コメント (0) 11:00 〜 11:15 [10a-N202-7] a-Siキャップ付加による界面変調Sn添加Ge極薄膜/絶縁基板のキャリア移動度向上 〇原 龍太郎1、千代薗 修典1、茂藤 健太2,3、山本 圭介2、佐道 泰造1 (1.九大・システム情報、2.九大・総理工、3.学振特別研究員) キーワード:半導体 本研究ではSn添加Ge極薄膜の固相成長に与えるa-Siキャップ効果を検討した。