2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[10a-N202-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2021年9月10日(金) 09:30 〜 12:00 N202 (口頭)

澤野 憲太郎(都市大)

11:15 〜 11:30

[10a-N202-8] 固相成長GeSn薄膜トランジスタにおけるSn組成の影響

茂藤 健太1,2、山本 圭介1、今城 利文2,3、末益 崇3、中島 寛1、都甲 薫3 (1.九大院、2.学振特別研究員、3.筑波大院)

キーワード:GeSn、薄膜トランジスタ、多結晶