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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[10a-N203-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2021年9月10日(金) 09:00 〜 11:45 N203 (口頭)

鳥越和尚(SUMCO)、佐々木拓生(量研機構)、小島拓人(名大)

10:30 〜 10:45

[10a-N203-6] 実験とデータ科学的手法による3次元多結晶Siモデルの作成と有限要素応力解析

〇山腰健太¹、沓掛健太朗²、小島拓人³、工藤博章³、宇佐美徳隆¹ (1.名大院工、2.理研 AIP、3.名大院情報)

キーワード：多結晶シリコン、3次元再構成、応力解析