2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[10a-N203-1~10] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2021年9月10日(金) 09:00 〜 11:45 N203 (口頭)

鳥越 和尚(SUMCO)、佐々木 拓生(量研機構)、小島 拓人(名大)

11:00 〜 11:15

[10a-N203-8] 透過X線トポグラフィーによるScAlMgO4結晶の転位の評価

石地 耕太朗1、藤井 高志2,3、荒木 努2、福田 承生3 (1.九州シンクロ、2.立命館大、3.福田結晶研)

キーワード:X線トポグラフィー、基板材料、転位

最近、ScAlMgO4結晶のストレート型とストリーム型の転位を反射X線トポグラフィーで観察した。今回、これらを透過X線トポグラフィーで評価した。ストレート型転位は[0-110], [10-10], [-1100]に導入するが、20-20回折のX線トポグラフで[10-10]方向の転位が見えなかった。消滅ルールにより、バーガースベクトルは[1-210]である。本発表でストリーム型転位の結果も紹介する。