[10a-N204-1~12] CS.10 6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[10a-N204-10] 動的 Shirley 法を用いた二層グラフェン中微量ドーパントのXPS測定

〇小川 修一¹、山田 貴壽²、沖川 侑揮²、増澤 智昭³、津田 泰孝⁴、吉越 章隆⁴、虻川 匡司¹ (1.東北大SRIS、2.産総研、3.静岡大、4.原子力機構)

キーワード：グラフェン、XPS、インターカレーション

グラフェン中に微量にドーピングしたK原子の濃度を高輝度放射光を使用したXPSで計測した。C1sの高結合エネルギー側に現れるK 2pピークは非対称なC1sピークの裾部分と重なり、通常のShirley法によるバックグラウンド除去ではピーク強度が求められなかった。これを解決するため、動的Shirley法を応用し、C1sピークの裾部分を考慮したバックグラウンド除去方法を用いてK 2p強度を求めた。