[10a-N204-1~12] CS.10 6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[10a-N204-8] Si(001)2×1表面室温酸化に観られるO1s光電子スペクトルの
サテライトピークと酸素分子の並進運動エネルギーの関係

〇吉越 章隆¹、津田 泰孝¹、冨永 亜希¹、坂本 哲哉¹、小川 修一²、髙桑 雄二³ (1.原子力機構物質科学研究センター、2.東北大国際放射光イノベーション・スマート研究センター、3.東北大μSIC)

キーワード：Si酸化反応、放射光光電子分光、分子線

酸素分子のSi(001)2×1表面における吸着過程の研究は、酸化反応の理解にとって重要である。本研究では、SPring-8のJAEA専用BL23SUの表面実験ステーションを使って、酸素分子線照射中の表面を放射光リアルタイム光電子分光観察した結果を報告する。分子状吸着状態に関連するピークをO1s光電子スペクトルに分子線照射中に観察した。酸化時間に伴う化学状態や電子構造の変化などを紹介する予定である。