[10a-N302-1~6] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [10a-N302-1] Micro-Bending of Single Crystal Gold and the Sample Geometry Effect

〇Kazuya Fujita¹, Kosuke Suzuki¹, Chun-Yi Chen¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Hiroyuki Ito¹, Daisuke Yamane², Katsuyuki Machida¹, Kazuya Masu¹, Masato Sone¹ (1.Tokyo Inst., 2.Ritsumeikan Univ.)

Keywords:Gold Material, Sample size effect, Micro-Bending test

MEMS加速度センサへの応用に向け、金材料の機械的特性について、マイクロスケールでの曲げ試験によって評価した。曲げ試験において、カンチレバーの厚さ方向と幅方向は荷重軸に対して、それぞれ平行、垂直という違いがある。この違いがサンプルサイズ効果に与える影響を調べ、微小材料に関する機械的特性のさらなる理解を測った。その結果、カンチレバーでは、サンプルの形状が材料の機械的特性に影響を及ぼすことがわかった。