[10a-N302-1~6] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [10a-N302-1] 金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果

〇藤田 一矢¹、鈴木 康介¹、陳 君怡¹、ツォーフーマーク チャン¹、伊東 浩之¹、山根 大輔²、町田 克之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.立命館大学)

キーワード：金材料、サンプルサイズ効果、微小曲げ試験

MEMS加速度センサへの応用に向け、金材料の機械的特性について、マイクロスケールでの曲げ試験によって評価した。曲げ試験において、カンチレバーの厚さ方向と幅方向は荷重軸に対して、それぞれ平行、垂直という違いがある。この違いがサンプルサイズ効果に与える影響を調べ、微小材料に関する機械的特性のさらなる理解を測った。その結果、カンチレバーでは、サンプルの形状が材料の機械的特性に影響を及ぼすことがわかった。