2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10a-N302-1~6] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2021年9月10日(金) 10:30 〜 12:00 N302 (口頭)

岡田 竜弥(琉球大)

11:00 〜 11:15

[10a-N302-3] 超臨界CO2を用いた触媒化プロセスによるPt/PET複合繊維の創製

〇(M2)三本 大貴1、Chiu Wan-Ting1、Chen Chun-Yi1、Chang Tso-Fu Mark1、神野 有沙2、黒子 弘道2、渡辺 靖3、曽根 正人1 (1.東工大、2.奈女大、3.昭和電工マテリアルズ)

キーワード:無電解白金めっき、超臨界二酸化炭素触媒化、ウェアラブルデバイス

柔らかく金属アレルギー反応が非常に少ない白金と、汎用・大量生産可能で耐熱性に優れるPETを統合し、理想的なデバイス材料の実現を目指す。本研究では、触媒含浸時に溶媒として超臨二酸化炭素(Sc-CO2)と、エントレーナとしてε-カプロラクタムを使用することで、PET繊維への無電解白金めっきに初めて成功した。本研究で得られた結果は、低電気抵抗、高信頼性、生体適合性に基づくウェアラブルデバイスへの応用の可能性を示した。