[10a-N306-1~11] 17.2 グラフェン

[10a-N306-2] カリウム添加多層グラフェンの電気特性評価

〇山田 貴壽¹、増澤 智昭²、小川 修一³、高桑 雄二³、沖川 侑揮¹ (1.産総研、2.静岡大、3.東北大)

キーワード：グラフェン

カリウム添加グラフェン層内のカリウムの分布をToF-SIMSにより評価した。さらに、剥離法により剥片化したグラフェンをSiO₂上に転写して作製したFETの電気特性を評価した。