[10a-N321-1~11] 3.7 Laser processing

[10a-N321-3] [Highlight]Influence of plasma shielding on ablation efficiency in GHz burst mode femtosecond laser ablation of Cu

〇Kotaro Obata¹, Shota Kawabata^1,2, Francesc Caballero-Lucas¹, Yasutaka Hanada³, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of A. & T., 3.Hirosaki Univ.)

Keywords:GHz burst mode, Femtosecond laser, Ablation

GHzバーストモードによる銅のアブレーションでは、アブレーション加工効率がシングルモードよりも低下するが、その理由の一つとしてプラズマ遮蔽の影響が考えられる。本研究では、プラズマとレーザー光の相互作用を利用して透明材料のアブレーションを誘起するレーザー生成プラズマ支援アブレーション（LIPAA）を実行することにより、プラズマ遮蔽の影響を検証することを試みた。