[10a-N321-1~11] 3.7 Laser processing

[10a-N321-4] Multidimension Automated Feedback Control for Femtosecond Laser Microdrilling

〇(D)Keiichi Bamoto¹, Haruyuki Sakurai¹, Shuntaro Tani¹, Yohei Kobayashi¹ (1.ISSP, Univ. Tokyo)

Keywords:Laser processing, Femtosecond laser, Optimization

我々はレーザー穴あけ加工実験系にその場測定装置を組み込み、加工結果からベイズ最適化アルゴリズムを用いてレーザー加工パラメータにフィードバックすることで、自動的に目的の裏面穴形状を実現するパラメータを高効率に探索するシステムを構築した。本発表ではレーザー穴あけ加工におけるビームモードの最適化を多次元に拡張した結果と、最適化の速度について報告する。