[10a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[10a-N321-4] フェムト秒レーザー微細穴あけ加工における多次元フィードバック制御

〇(D)場本 圭一¹、櫻井 治之¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、フェムト秒レーザー、最適化

我々はレーザー穴あけ加工実験系にその場測定装置を組み込み、加工結果からベイズ最適化アルゴリズムを用いてレーザー加工パラメータにフィードバックすることで、自動的に目的の裏面穴形状を実現するパラメータを高効率に探索するシステムを構築した。本発表ではレーザー穴あけ加工におけるビームモードの最適化を多次元に拡張した結果と、最適化の速度について報告する。