[10a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[10a-N321-6] フェムト秒レーザーによるダイヤモンド内部への高濃度NVセンター形成

〇栗田 寅太郎¹、下間 靖彦¹、矢野下 瑠星¹、木内 康平¹、藤原 正規²、藤江 昌弘²、水落 憲和²、清水 雅弘¹、三浦 清貴¹ (1.京大院工、2.京大化研)

キーワード：NV中心、フェムト秒レーザー、ダイヤモンド

本研究ではフェムト秒レーザーによるダイヤモンド内部への高濃度NVセンター形成について報告する。照射パルスエネルギーとパルス数を制御することで、最大3×10¹⁶ /cm³のNVセンターをダイヤモンド内部に熱アニール無しで形成することに成功した。ハーンエコー測定より、T₂が照射部と未照射部とで大きな差がないことを確認し、レーザーの損傷によるT₂への影響は、不純物窒素に比べ限定的であることが示唆された