[10a-N401-1~9] 7.2 電子ビーム応用

[10a-N401-5] アモルファス薄膜の電子線照射による局所結晶化

〇(M1)棚橋 俊介¹、大川原 彩恵¹、徳永 智春¹、山本 剛久¹ (1.名大工)

キーワード：原子層堆積法、電子線