[10a-N401-1~9] 7.2 電子ビーム応用

[10a-N401-8] 表面キャリアダイナミクスの観察に向けたフェムト秒レーザーを用いた超高速走査型電子顕微鏡の開発

〇山本 祐揮¹、江本 悠河¹、嵐田 雄介¹、岸部 義也¹、赤田 圭史¹、羽田 真毅¹、吉田 昭二¹、藤田 淳一¹ (1.筑波大数理)

キーワード：電子顕微鏡、レーザー、ポンププローブ法

電子顕微鏡の優れた空間分解能と超高速フェムト秒レーザーを用いた分光法の時間分解能を融合させた、超高速走査型電子顕微鏡（S-UEM）の開発を行なった。
発表では装置のセットアップやSi試料によるポンププローブ実験に関する考察について報告する。