[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10a-N402-1] O₂中性クラスタービーム照射によるCu酸化膜形成と評価

〇(M2)太田 崚樹¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大)

キーワード：クラスタービーム

中性クラスタービームによる金属ALEに必要な酸化膜形成プロセスについて、形成した酸化膜の評価を行った。スパッタCu膜にO₂中性クラスタービームを照射し、酸化膜を形成。クラスタービームを直接照射しない雰囲気酸化膜との比較を行った。